Саякат диапазону
20мм
Резолюция
0.125μm
Кайталануучулук
＜1μm
Түздүк
＜2μm
Параллелизм
＜5μm
Питинг
10"（50μrad)
Yawing
Максималдуу ылдамдык
5мм/сек
Жүктөө жөндөмдүүлүгү
10 кг
Салмагы
1,5 кг
